DLC−LUBUC β

LUBUC βの被膜特性

OCS名称 膜種 被膜色 硬さ
(HV)
摩擦
係数
耐熱
温度
(℃)
面粗さ 標準
膜厚
(μm)
成膜
温度
(℃)
DLC-
LUBUC β
DLC
1500
0.15
550
0.05
〜0.15
〜10
180